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产品分类
产品简介
真空室结构:
立式钟罩上升盖
真空室尺寸:
φ600×H800mm
极限真空度:
1.0E-5Pa
沉积源:
无
样品尺寸，温度:
设计待定
占地面积（长x宽x高）:
约2米x2米x2米
电控描述:
电控系统可实现系统供电，真空度采集，加热电源功率控制，水冷系统报警灯等功能
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